1.检查高纯度氮是否足够,冷却水是否光滑以及压缩气压是否在每天工作之前达到标准。
2.当设备内部脏或不干净时,用酒精或汽油湿丝布擦拭干净并干燥。
3.电气控制系统的电连接器应保持清洁和拧紧,并在打开炉子之前检查每个固定的电连接器。
4.清洁并通过经常擦拭设备的外表面并清洁设备的外表面。
5.机械驱动器零件应根据通用设备润滑要求定期加油或定期更换。
6.下班后,炉子必须保持在0.01 pa真空以下。
以下项目由轮班负责人或运营商完成,以协助维护工作者:
1.应在没有电源的情况下进行维护。在实时条件下维修时,必须确保操作员,维护人员和设备的绝对安全。
2.当拆卸和组装真空系统的部分,液压系统和炉子的重新填充系统时,用汽油或酒精洗涤它们,然后在干燥后用真空润滑脂涂上真空润滑脂。
3.炉子的绝缘耐性应经常检查。当水冷电极和炉壳的绝缘电阻小于1000欧姆时,电热元件时,应仔细检查电极和热绝缘层的电阻,以及时消除故障。
4.根据制造商的技术说明,对成品零件(例如真空泵,阀门,测量仪器,热仪器和电气组件)进行维修和维护。